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BX53M奧林巴斯金相顯微鏡

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產品詳情

技術規格

奧林巴斯BX53M為傳統的工業顯微鏡檢查而設計,并擴展了其功能,以滿足更廣泛的應用和檢查技術的要求。奧林巴斯公司具有生產光學元件的悠久歷史,無論用目鏡觀察,還是通過顯示器觀察,都具備*的圖像畫質。
全面可定制性模塊化設計可以為用戶靈活地構建滿足其特殊要求的系統。
顯微檢查任務常常需要用很長的時間來調節顯微鏡設置、獲取圖像,以及進行必要的測量,從而得到令人滿意的報告。用戶有時需要投入時間和金錢去完成專業的顯微鏡培訓,或只了解了顯微鏡全部功能的很小部分就開展工作。

奧林巴斯BX53M通過其優良的設計和便捷的控制功能,簡化了復雜的顯微檢查任務。用戶不需要長時間的培訓即可掌握顯微鏡的大多數功能。BX53M方便而舒適的操作還改善了圖像的再現性,最大程度減少了人為錯誤。

暗場觀察
暗場能夠觀察標本上的散射或衍射光。任何不平整的部位都會反射這種光,而平整的部位則顯得很暗,因此缺陷部位就會清晰地顯示出來。用戶甚至可以識別出極細微的劃痕,或小到8nm級別的缺陷 – 比光學顯微鏡的分辨能力還要小。因此,暗場是檢測標本上細微劃痕或缺陷,以及鏡面標本(包括晶圓)的理想工具。

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微分干涉觀察
微分干涉是一種顯微鏡觀察技術,這種技術把明場觀察所不能檢測到的標本高度差,變為浮雕狀或三維圖像,改善了圖像襯度。該技術使用了偏光,并有三種專門定制設計的棱鏡可以選擇。它是檢查具有極細微高度差的標本的理想工具,包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質和拋光晶圓表面。

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偏光觀察
這種顯微鏡觀察技術使用了由一套濾色片(檢偏鏡和起偏鏡)產生的偏光。標本的特性直接影響顯微鏡反射光的強度。這種技術適用于金相組織(比如球墨鑄鐵上石墨生長的形態)、礦石、LCD和半導體材料。

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熒光觀察
該技術用于通過專用濾色片激發塊照明,使標本能夠發出熒光(發出不同波長的光),特定的激發塊可用于特定的應用。它適合于檢查半導體晶圓上的異物、光阻殘留物,以及通過熒光染料檢測裂縫??梢赃x配復消色差集光鏡系統的燈箱,以補償從可見光到近紅外光的色差。

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紅外光觀察
IR觀察是非破壞性地檢查可以透過紅外光的硅材料或玻璃材料構成的電子元器件內部的方法。

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透射光觀察
對于透明樣品,比如LCD、塑料和玻璃材料,可以使用各種聚光鏡進行透射光觀察。組建一個光學系統,實現透射光明場和偏光進行樣品檢查非常方便。

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奧林巴斯BX53M規格(用于反射和反透射組合的金相觀察)

光學系統

UIS2光學系統(無限遠校正)

顯微鏡機架

照明

反射/透射

反射

對焦

行程:25 mm
每轉的微調行程:100 μm
最小刻度:1 μm
配有上限限位器,>于粗調手柄的扭力調節

行程:30 mm
每轉的微調行程:200 μm
最小刻度:2 μm
配有用于粗調手柄的扭力調節

最大樣品高度

35 mm (不含高度適配器)
75 mm (
BX3M-ARMAD)

65 mm (不含高度適配器)
105 mm (
BX3M-ARMAD)

取決-安裝配置

觀察筒

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目
正像:三目、傾斜式雙目

超寬視野FN26.5

倒像:三目
正像:三目、傾斜式三目

反射光照明

常規觀察技術

BX3M-RLAS-S
編碼,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置)
BX3M-KMA-S
白光LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置)
BX3M-RLA-S
100W/50W
鹵素燈,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(帶對中裝置), BF/DF切換時中密度濾色片聯動

-

U-KMAS
白光LED,100W鹵素燈
光纖照明,BF/DIC/POL/MIX

熒光

BX3M-URAS-S
100W汞燈,4孔位分光B, G, U+BF)
FS
,AS(帶對中裝置),帶光閘裝置

透射光

白光LED
阿貝/長工作距離聚光鏡

-

物鏡轉換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

用于BF/DF

六孔,五孔,對中五孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

載物臺

同軸左手(右手)操作載物臺:
76mm×52mm
,采用扭力調節
大型同軸左手(右手)操作載物臺:
100mm×105mm
,帶Y軸鎖定裝置
大型同軸右手操作載物臺:
150mm×100mm
,帶扭力調節和Y軸鎖定裝置

-

重量

大約18.3 kg
(顯微鏡機架7.6 kg

大約15.8 kg
(顯微鏡機架7.4 kg

大約11.1 kg
(顯微鏡機架1.9 kg

BX53M規格(用于紅外觀察)


BX53MRF-S

BXFM

IR觀察筒

寬視野FN22

倒像:三目

反射光照明

IR觀察

BX3M-RLA-S IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置)
BX3M-URAS-S IR用100W/50W鹵素燈,BF/IR,AS(帶對中裝置)

U-KMAS
IR
用100W/50W鹵素燈,BF/IR

物鏡轉換器

用于BF

六孔,對中六孔,七孔,編碼五孔(選配電動物鏡轉換器)

Stage (X × Y)

同軸左手(右手)操作載物臺:
76mm×52mm,采用扭力調節
大型同軸左手(右手)操作載物臺:
100mm×105mm,帶Y軸鎖定裝置
大型同軸右手操作載物臺:
150mm×100mm,帶扭力調節和
Y軸鎖定裝置

重量

大約18.9 kg(顯微鏡機架7.4 kg)

大約11.6 kg(顯微鏡機架1.9 kg)

BX53M規格(用于偏光觀察)


BX53MTRF-S

偏光中間附件
(U-CPA或U-OPA)

寬視野FN22

倒像:雙目、三目、傾斜式雙目
正像:三目、傾斜式雙目

勃氏鏡

可對焦(僅適用于U-CPA)

勃氏鏡視場光闌

直徑?3.4mm(固定)(僅適用于U-CPA)

切換正像鏡檢和錐光鏡檢時加入或退出勃氏鏡

滑塊位置 ● 進入
滑塊位置 ○ 退出 (僅適用于U-CPA)

檢偏鏡插槽

旋轉式檢偏鏡插槽(U-AN360P-2)

檢偏鏡(U-AN360P-2)

可旋轉360°的撥盤 ,可旋轉的最小角度0.1°

對中式物鏡轉換器(U-P4RE)

四孔,附對中裝置:1/4λ偏振片(U-TAD),
試板(U-TP530) 和各種補色器均可連接補色器適配器(U-TAD)使用。

載物臺(U-SRP)

帶3點對中功能的偏光專用旋轉載物
可旋轉360°,可鎖定在任何位置,360°每刻度遞增1°
(最小分辨率6’,使用游標尺)
45°鎖定功能 可安裝移動標本夾(U-FMP)

聚光鏡(U-POC-2)

色差無應力聚光鏡(U-POC-2),帶外擺式消色差頂部透鏡的可旋轉360°起偏鏡。 “0°”刻度處的鎖定機構可調節。
NA0.9(頂部鏡頭內擺) NA0.18(頂部鏡頭外擺)
徑光闌:直徑從2mm到21mm可調節

重量

大約16.2 kg(顯微鏡機架7.6 kg)



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